FA
Pneumatisch aangedreven Balgpompen
Kenmerken van de FA
Besmettingsvrije constructie
Alle delen die in contact komen met de vloeistof worden gemaakt van Fluorokunstof, met een uitstekende weerstand tegen hitte en agressieve chemicalien. Agressieve vloeistoffen worden veilig verpompt zonder afgifte van deeltjes.
Sensor aangedreven systeem
Door het gebruik van interne proximity schakelaars het sensor aandrijf systeem opent / sluit de solenoid. Een betrouwbare werking is, evenals een stabiel functioneren, zelfs bij een gering aantal slagen gewaarborgd.
Voor single-wafer-processing kan de FA-2Em, de versie voor kleinere capaciteiten worden geleverd uitgerust met een sproeisysteem. Met de FA-40VEW, een verticale uitvoering voor grotere capaciteiten, kunnen wafers tot 200 / 300 mm worden gereinigd.
Perfecte weerstand tegen hoge drukken door de dik uitgevoerde balgen in H-vorm (FA-40VEW) garanderen een lange levensduur.Als men een speciale controller gebruikt kan men te verpompen hoeveelheid controleren en monitoren.
Specificaties (50 Hz)
Max. capaciteit: | 2,400 l/h |
---|---|
Max Druk: | 0.4 MPa |
Slag frequentie: | 150 spm |
Materialen: | PTFE / PFA |
Temperatuurbereik: | 5 to 100°C |